PLD-工作站

特征

• 一體式框架解決方案，支持快速“即插即用”安裝
• 先進(jìn)的工藝自動(dòng)化，也非常適合超晶格沉積
• 具有先進(jìn)溫度測(cè)量功能的抗氧基板加熱器，1000°C
• 可選基板激光加熱
• 具有交叉污染屏蔽的靈活先進(jìn)目標(biāo)機(jī)械手
• 為系統(tǒng)升級(jí)準(zhǔn)備的真空室（RHEED、等離子體源、OES/FTIR等）
• 表面通量控制選項(xiàng)，可獲得100%可重現(xiàn)的結(jié)果
• 完全封閉的光束線，可實(shí)現(xiàn)無(wú)障礙、安全的操作
• 交鑰匙交付
• 通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)提供高級(jí)在線支持

終極氧化物原型系統(tǒng)

脈沖激光沉積（PLD）是薄膜沉積的通用工藝，其主要優(yōu)點(diǎn)是化學(xué)計(jì)量的材料從靶轉(zhuǎn)移到基底。地面PLD工作站是這出色的薄膜原型制作和研究系統(tǒng)，可輕松獲取新材料，尤其是先進(jìn)的氧化層。

PLD工作站將PLD系統(tǒng)的所有組件（包括激光器和激光氣體供應(yīng)）集成到一個(gè)機(jī)架中。緊湊的設(shè)計(jì)能夠最靈活地使用系統(tǒng)，并避免了許多硬件安裝工作。所有這些都是無(wú)與倫比的多功能性的關(guān)鍵，即使對(duì)于以前沒(méi)有PLD技術(shù)經(jīng)驗(yàn)的用戶也可以使用PLD！

PLD工作站以強(qiáng)大而緊湊的封裝提供先進(jìn)的沉積技術(shù)，適用于各種應(yīng)用。盡管具有內(nèi)置的靈活性，但安全始終是重中之重:

• 帶有外部驅(qū)動(dòng)反射鏡調(diào)節(jié)功能的全封閉激光束線可安全地防止暴露在紫外線激光輻射下
• 激光器和激光氣體柜永久連接到外部排氣管線

真空室:具有內(nèi)置的靈活性

真空室是為研究而設(shè)計(jì)的。它具有適用于最常見(jiàn)的原位分析工具或其他系統(tǒng)擴(kuò)展的備用法蘭:

此外，兩名窗子允許從兩個(gè)不同的角度和兩個(gè)側(cè)面對(duì)過(guò)程進(jìn)行視覺(jué)接觸。大前門(mén)使主要工藝部件:靶和襯底機(jī)械手完全可以進(jìn)入。標(biāo)準(zhǔn)配置提供一個(gè)2英寸襯底加熱器和一個(gè)4×2英寸索引目標(biāo)操縱器。加熱器對(duì)于1英寸基材和激光加熱器都是可選的。

為了調(diào)節(jié)工藝條件，標(biāo)準(zhǔn)配置有兩個(gè)質(zhì)量流量控制器通道，用于將工藝氣體供應(yīng)到反應(yīng)室中。它們能夠自動(dòng)控制工藝氣氛和壓力。

通過(guò)的設(shè)計(jì)目標(biāo)操縱器結(jié)合控制軟件，可避免在目標(biāo)表面形成錐形，并保證目標(biāo)的均勻磨損。激光束將以兩種不同的入射角擊中目標(biāo)的每個(gè)點(diǎn)，因此不會(huì)形成影響燒蝕材料化學(xué)計(jì)量的錐體。

為了實(shí)現(xiàn)均勻的靶磨損，沉積過(guò)程中有兩種不同的靶移動(dòng)模式:

• 切換:

  目標(biāo)轉(zhuǎn)盤(pán)以連續(xù)運(yùn)動(dòng)的方式來(lái)回移動(dòng)，以便激光束在距離目標(biāo)中心的任何半徑處擊中目標(biāo)。該模式易于設(shè)置，只需知道目標(biāo)直徑。

• 掃描:

  移動(dòng)目標(biāo)轉(zhuǎn)盤(pán)，使激光束在目標(biāo)上“寫(xiě)入”定義的軌跡。調(diào)整目標(biāo)旋轉(zhuǎn)速度和軌道間距以匹配激光光斑大小和重復(fù)率。這實(shí)現(xiàn)了目標(biāo)表面的非常均勻的磨損。

表面流量控制

可選地，PLD工作站可以配備表面通量控制。這一特性極大地增強(qiáng)了薄膜沉積的可再現(xiàn)性:在每個(gè)沉積步驟之前，自動(dòng)校準(zhǔn)激光流量并調(diào)整脈沖能量，以隨著時(shí)間的推移保持恒定的沉積條件。為了校準(zhǔn)目標(biāo)轉(zhuǎn)盤(pán)被移動(dòng)到使激光束能夠通過(guò)與激光入射窗相對(duì)的窗口射出腔室的位置。自動(dòng)安全快門(mén)打開(kāi)，功率計(jì)可以測(cè)量脈沖能量。這種設(shè)計(jì)確保了在測(cè)量過(guò)程中光束路徑中唯一的附加光學(xué)部件是出射窗。通常這種窗戶由安全百葉窗保護(hù)，可以長(zhǎng)時(shí)間保持清潔。這樣，可以可靠地確定到達(dá)目標(biāo)的真實(shí)脈沖能量。

控制軟件

所有表面PLD系統(tǒng)都是高度自動(dòng)化的，以控制整個(gè)沉積過(guò)程。這確保了系統(tǒng)的簡(jiǎn)單操作。這PlumeMaster軟件基于久經(jīng)考驗(yàn)的Windows XP專業(yè)版操作系統(tǒng)。具有單獨(dú)設(shè)置的幾個(gè)工藝步驟可以組合成一個(gè)沉積程序。直觀的過(guò)程可視化、具有數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能的高度靈活的數(shù)據(jù)記錄和自測(cè)功能是額外的功能。

所提供的軟件還包括沖浪用品–SURFACE的高級(jí)客戶支持工具:

• 快速聯(lián)系表面支持小組
• 地面支持工程師通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)（TCP/IP）和集成網(wǎng)絡(luò)攝像頭提供視聽(tīng)支持
• 支持工程師可以遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，同時(shí)保持視聽(tīng)聯(lián)系
• 硬件問(wèn)題以及客戶工藝編程問(wèn)題的簡(jiǎn)單故障排除
• 通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)的自動(dòng)軟件更新程序

PLD-Lab:多室，一個(gè)激光器

如果需要更大的吞吐量，可以將幾個(gè)PLD工作站組合成一個(gè)共享一臺(tái)激光器的系統(tǒng)。然后，帶有自動(dòng)反射鏡的擴(kuò)展光束線將激光束引導(dǎo)至所需的PLD工作站腔室。激光服務(wù)器計(jì)算機(jī)基于請(qǐng)求表自動(dòng)控制激光器和光束線，并且PLD室中的沉積工藝被延遲，直到激光器可用于特定室。

系統(tǒng)規(guī)范

產(chǎn)品照片